多点型電極を用いたカーボンナノチューブの誘電泳動

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10026

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/18

タイトル(英語): Dielectrophoresis of carbon nanotubes using a multi-point type electrodes

著者名: 鈴木 瑞明(BEANSプロジェクト),杉山 正和(東京大学大学院)

著者名(英語): SUZUKI Mizuaki(BEANS Laboratory),SUGIYAMA Masakazu(University of Tokyo)

キーワード: カーボンナノチューブ|誘電泳動|carbon nanotube|dielectrophoresis

要約(日本語): 　高機能・高スループットのＡＦＭ（原子間力顕微鏡）装置用マルチチップ型カンチレバー等、高効率のセンシングを可能とするマルチプローブ型センサーの実現を目指して、マルチプローブへナノ粒子・ナノチューブを修飾するプロセスの開発を行っている。　本発表においては、マルチプローブを想定した複数の突起部分を有する多点型電極を用いて、多層型カーボンナノチューブの誘電泳動により、電極突起先端部へカーボンナノチューブを集中して配向・配置する実験を行った。

原稿種別: 日本語

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