積層セラミック技術を応用したＭＥＭＳマイクロ発電機の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS11003

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): Development of MEMS micro generator Using Multilayer Ceramic Technology

著者名: 飯塚 茜(日本大学大学院),千葉 城治(日本大学大学院),高藤 美泉(日本大学大学院),齊藤 健(日本大学),内木場 文男(日本大学)

著者名(英語): Iiduka Akane(Graduate School of Nihon University),Chiba joji(Graduate School of Nihon University),Takato Minami(Graduate School of Nihon University),Saito Ken(Nihon University),Uchikoba Fumio(Nihon University)

キーワード: ＭＥＭＳ|積層セラミック技術|発電機|電磁誘導式|エアタービン|MEMS|Multilayer Ceramic Technology|generator|Air turbine|electromagnetic induction-type

要約(日本語): 電磁誘導式超小型エアタービン発電機を提案する。これまで、ＭＥＭＳ技術を用いた発電機構には、立体構造をとる電磁誘導式はあまり採用されてこなかった。本研究では、積層セラミック技術を用いることで、電磁誘導式の超小型発電機を実現した。圧搾空気によって磁石を回転させるエアタービンはＭＥＭＳ技術、磁気回路は積層セラミック技術によって作製した。発電機は、外形3.6×4×3.5mm、出力1.92μVAだった。

要約(英語): We will propose the miniaturized electromagnetic induction-type air turbine generator. This generator rotated by the compressed air and generates electricity was fabricated by the combination of MEMS and multilayer ceramic technology. The total dimensions of air turbine generator were 3.6×3.4×3.5mm. The output power of our constructed micro air turbine generator was 1.92μVA.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,176 Kバイト