MIMドットを用いた可変キャパシタ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS11004

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): A variable capacitor with MIM dots

著者名: 島内 岳明(富士通研究所),勝木 隆史(富士通研究所),豊田 治(富士通研究所),上田 知史(富士通研究所),中澤 文彦(富士通研究所)

著者名(英語): Shimanouchi Takeaki(Fujitsu Laboratories LTD.),Katsuki Takashi(Fujitsu Laboratories LTD.),Toyoda Osamu(Fujitsu Laboratories LTD.),Ueda Satoshi(Fujitsu Laboratories LTD.),Nakazawa Fumihiko(Fujitsu Laboratories LTD.)

キーワード: 可変|キャパシタ|スティッキング|variable |capacitor|sticking

要約(日本語): MIM(Metel-Insulator-Metal)構造のドット用いた可変キャパシタを提案する.

要約(英語): Proposal of a variable capacitor with MIM(Metel-Insulator-Metal) dots.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 889 Kバイト