サブ波長格子を用いたNEMS可変カラーフィルタの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS11005

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): NEMS tunable color filter using sub-wavelength grating

著者名: 本間 浩章(豊橋技術科学大学),宮尾 肇(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Honma Hiroaki(Toyohashi University of Technology),Miyao Hajime(Toyohashi University of Technology),Takahashi Kazuhiro(Toyohashi University of Technology),Ishida Makoto(Toyohashi University of Technology),Sawada Kazuaki(Toyohashi University of Technology)

キーワード: ＮＥＭＳ／ＭＥＭＳ|カラーフィルタ|サブ波長格子|ＳＯＩ|NEMS/MEMS|color filter|sub-wavelength grating|SOI

要約(日本語): 本研究では、SOI基板上にサブ波長の周期を持つシリコン格子を作製し、アクチュエーション機能を一体化することで、構造色を可変とするNEMS可変カラーフィルタを提案している。半導体マイクロマシニングを利用して、格子幅500nm、厚さ150nmのシリコンブリッジのリリースに成功した。作製したアクチュエータでは、サブ波長格子を静電引力によってギャップを変化させ、20Vの電圧を印加した際に黄色から緑色への変化を確認した。

要約(英語): We propose a NEMS (Nano Electro Mechanical Systems) tunable color filter using sub-wavelength grating, which can modulate the reflected light by changing the period of the sub-wavelength grating.The sub-wavelength grating was made in a top layer of an SOI (Silicon on Insulator) wafer. The color tuning from yellow to green was demonstrated at 20 V operation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,610 Kバイト