SOI-MUMPsプロセスによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータの最適化検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS11006

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): Optimization of Cantilever-type Thermal Microactuators Fabricated by SOI-MUMPs Process

著者名: 長田 貴裕(千葉工業大学),落合 邦行(千葉工業大学),長田 和樹(ニッコーテクノ株式会社),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Takahiro Osada(Chiba Institute of Technology),Ochiai Kuniyuki(Chiba Institute of Technology),Osada Kzuki(Nikko Techno,Ltd.),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology)

キーワード: マイクロアクチュエータ|片持ち梁|熱式|ＳＯＩ|最適化|Microactuators|Cantilever|Thermal|SOI|Optimization

要約(日本語): 近年マイクロ分析システムなど様々なマイクロ流体システムが検討されており、マイクロバルブなどMEMS技術を用いたマイクロアクチュエータが実用化へのキーデバイスになっている。本研究では簡易な表面マイクロマシーニング技術であるSOI-MUMPｓプロセスにより実現されるような熱式マイクロアクチュエータについて、デバイス形状としてＵ字型とＩ字型の比較を行い、各種パラメータの最適化検討を行った。

要約(英語): Recently, the micro fluid systems have been extensively studied, where microactuators such as micro valves fabricated by MEMS technology are essential for realizing these systems. In this paper thermal microactuators with U-type and I-type shapes fabricated by SOI-MUMPs technology have been investigated for optimizing their configurations.

原稿種別: 日本語

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