電磁駆動型２軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた３次元形状計測への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS11011

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): Electro-magnetically Driven Dual-axis MEMS Grating, and its Application to 3D Profiling with Near Infrared Low Coherence Optical Interferometry

著者名: 渡部 善幸(山形県工業技術センター),高橋 義行(山形県工業技術センター),阿部 泰(山形県工業技術センター),岩松 新之輔(山形県工業技術センター),矢作 徹(山形県工業技術センター),小林 誠也(山形県工業技術センター),今野 俊介(山形県工業技術センター),佐藤 敏幸(山形県工業技術センター)

著者名(英語): Watanabe Yoshiyuki(Yamagata Research Institute of Technology),Takahashi Yoshiyuki(Yamagata Research Institute of Technology),Abe Yutaka(Yamagata Research Institute of Technology),Iwamatsu Shinnosuke(Yamagata Research Institute of Technology),Yahagi Toru(Yamagata Research Institute of Technology),Kobayashi Seiya(Yamagata Research Institute of Technology),Konno Shunsuke(Yamagata Research Institute of Technology),Sato Toshiyuki(Yamagata Research Institute of Technology)

キーワード: ＭＥＭＳグレーティング|ＭＥＭＳスキャナ|電磁駆動|低コヒーレンス干渉法|３次元計測|近赤外分光|MEMS grating|MEMS scanner|Electromagnetic drive|Low coherence interferometry|3D profiling|Near infrared spectroscopy

要約(日本語): 近赤外広帯域光源（中心波長1.55μm ）を用いた低コヒーレンス光干渉による３次元形状計測技術を検討した。システムは光ファイバで構成されてあり、干渉光の波長解析から対象物までの距離を求めるフーリエドメイン型である。MEMSスキャナで対象物に２次元の光走査を行い、その反射光と参照光による干渉光をMEMSグレーティングで分光することで３次元形状計測を行ったところ、１μm以下の分解能で段差計測が可能であった。

要約(英語): We have investigated 3D profiling of the objects by low coherence optical interferometry. This system is constructed with optical fibers and MEMS devices. A MEMS mirror gives the object 2D optical scanning, and MEMS grating makes spectroscopy of interference spectrum. In consequence, we can realize 3D profiling in which depth resolution is less than 1μm.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 890 Kバイト