サブ波長構造による構造色利用反射型3原色カラーフィルタの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS11012

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): Fabrication of Reflective Three Primary Color Filters Using Structural Color by Subwavelength Gratings

著者名: 尾崎 俊和(東北大学),金森 義明(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Ozaki Toshikazu(Tohoku University),Kanamori Yoshiaki(Tohoku University),Hane Kazuhiro(Tohoku University)

キーワード: サブ波長構造|構造色|カラーフィルタ|ナノマシニング|視野角度特性|Subwavelength Gratings|Structural Color|Color Filter|Nanomachining|Viewing Angle Characteristic

要約(日本語): サブ波長構造による構造色利用反射型3原色カラーフィルタを設計、製作した。構造色利用カラーフィルタは、一度のリソグラフィで3色同時にパターニングが可能であり、ディスプレイ等への応用が期待される。構造の周期は赤、緑、青色フィルタでそれぞれ400,340,300nmであり、製作したカラーフィルタの光学特性の評価を行った結果、赤、緑、青色フィルタでそれぞれ0.8,0.55,0.5の反射率が得られた。

要約(英語): We designed and fabricated three primary color filters using structural color by subwavelength gratings.These color filters can be patterned at one time lithography. Thus, they are expected to be applied to devices such as displays.Fabricated red, green and blue filters have pitches of 400, 340 and 300nm, and reflectivity of 0.8, 0.55 and 0.5, respectively.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 790 Kバイト