薄膜抵抗型水素センサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS11014

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): Development of thin film resistance type Hydrogen sensor

著者名: 片山 文哉(岡山大学大学院),塚田 啓二(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),堺 健司(岡山大学)

著者名(英語): Katayama Fumiya(Okayama University),Tsukada Keiji(Okayama University),Kiwa Toshihiko(Okayama University),Sakai Kenji(Okayama University)

キーワード: ブリッジ回路|水素センサ|抵抗変化型水素センサ|薄膜

要約(日本語): 近年，水素が新たなエネルギーとして注目されているが，安全性確保のため水素漏洩検知が必要となっている．水素に触媒作用のある白金の薄膜を作製し，その水素応答基礎特性を評価した．さらに，白金薄膜をセンサ化するため，新たなブリッジ回路構成の白金薄膜センサを開発した．このセンサにより100ppm 以上の空気中の水素濃度を電圧出力として取り出せた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,079 Kバイト