白金黒を用いた水晶振動子型水素センサの研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS11015

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): Research on Quartz Resonator Hydrogen Sensor Using Platinum Black

著者名: 大井川 寛(早稲田大学),桐野 雄宇(早稲田大学),山崎 大輔(早稲田大学),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Hiroshi Oigawa(Waseda University),Yu Kirino(Waseda University),Daisuke Yamazaki(Waseda University),Toshitsugu Ueda(Waseda University)

キーワード: 水素|水晶振動子|ガスセンサ|ＭＥＭＳ|触媒|白金黒|Hydrogen|Quartz resonator|Gas sensor|MEMS|Catalyst|Platinum black

要約(日本語): 我々は，4%以下の低濃度の水素ガスを高精度で測定するために，白金触媒を水晶振動子に応用した水素センサを開発している。これまでは，スパッタリングによって白金を電極上に成膜して水素センサを製作していた。本報では，3次元構造を有する白金黒を水素センサに応用することで性能向上を図った。白金黒は，ヘキサクロロ白金酸を水素で還元することで電極上に成膜した。その結果，従来のモデルと比較して感度が約2倍に向上した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,854 Kバイト