電磁誘導によるMEMSアクチュエータの動作モニタ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS12003

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2012/06/11

タイトル(英語): Motion monitoring of MEMS actuators with Electromagnetic Induction

著者名: 渡部 善幸(山形県工業技術センター),小林 誠也(山形県工業技術センター),岩松 新之輔(山形県工業技術センター),矢作 徹(山形県工業技術センター),佐藤 勝裕(ミツミ電機),大泉 則一(ミツミ電機)

著者名(英語): Watanabe Yoshiyuki(Yamagata Research Institute of Technology),Kobayashi Seiya(Yamagata Research Institute of Technology),Iwamatsu Shinnosuke(Yamagata Research Institute of Technology),Yahagi Toru(Yamagata Research Institute of Technology),Sato Masahiro(Mitsumi Electric Co.,Ltd.),Oizumi Norikazu(Mitsumi Electric Co.,Ltd.)

キーワード: 電磁駆動|電磁誘導|動作モニタ|ＭＥＭＳアクチュエータ|ＭＥＭＳミラー|electromagnetic driving|electromagnetic induction|motion monitoring|MEMS actuator|MEMS mirror

要約(日本語): 磁場勾配中の薄膜コイルに作用する電磁力で駆動するMEMSミラーやグレーティングの開発を行ってきた。動作を精度良く制御するには、角度や振動振幅などの動作をモニタする必要があり、ピエゾ抵抗で検知する方法などが報告されている。本報告では、可動体上に形成した薄膜コイルにより誘導起電力を検出し、動作をモニタする方法について理論的考察を行い、実験結果との対比を行ったので報告する。

要約(英語): Previously, we have reported electromagnetically driven 2-axis tilting MEMS mirror, 2-axis tilting grating and 3-axis movable MEMS mirror (2-axis tilting and 1-axis vibration). These devices can be easily actuated by electromagnetic force induced by magnetic potential gradient between planar coils and the magnet. However, opened loop control can not realize its precise motion, because of the characteristic deviation of each chip, aged deterioration and thermal behavior. This report describes motion monitoring of MEMS actuators with electromagnetic induction for precise motion control. We have constructed theory of sensing, and have confirmed that they agreed with experimental results approximately.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,729 Kバイト