マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS12009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2012/06/11

タイトル(英語): Characterization of Gap-Variable Silicon Waveguide Coupler Switch Using Micro Actuator

著者名: 宗正 康(東北大学 ),秋浜 祐太(東北大学),金森 義明(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): MUNEMASA Yasushi(Tohoku University),Akihama Yuta(Tohoku University),kanamori Yoshiaki(Tohoku University),Hane Kazuhiro(Tohoku University)

キーワード: ＭＥＭＳ|カプラースイッチ|細線導波路|マイクロアクチュエータ|MEMS|coupler switch|nanowire waveguide|microactuator

要約(日本語): 我々はこれまでに低消費電力が実現できるMEMS光回路デバイスとして，静電マイクロアクチュエータとSi細線導波路を組み合わせた間隙可変のカプラーを用いた光スイッチ回路を提案してきた。本研究では、特性改善のため、カプラースイッチの構造を改良した波長1.55 μmの光スイッチ回路を製作、評価した。結果、ポートアイソレーションが18.4 dBとなり，5.4 dB改善した。また，アイソレーションが10 dB以上となる波長帯域は90 nmであった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,192 Kバイト