光硬化ポリイミドを用いた繊毛アクチュエータのＣＭＯＳポストプロセス作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS12016

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2012/06/12

タイトル(英語): CMOS Post-Processing of Ciliary Motion Actuators of UV-patterned Polyimides

著者名: マラペール ジュリアン(東京大学),森下 賢志(東京大学),安宅 学(東京大学),藤田 博之(東京大学),三田 吉郎(東京大学)

著者名(英語): Malapert Julien(The University of Tokyo),Morishita Satoshi(The University of Tokyo),Ataka Manabu(The University of Tokyo),Fujita Hiroyuki(The University of Tokyo),Mita Yoshio(The University of Tokyo)

キーワード: 自律分散ＭＥＭＳ|繊毛アクチュエータ|光硬化ポリイミド|直接パターニング|ＣＭＯＳ集積|Autonomous Distributed MEMS|Ciliary Motion Actuator|Photo-sensitive Polyimide|Direct Patterning|CMOS integration

要約(日本語): ＣＭＯＳ集積回路と集積化されたインテリジェントなＭＥＭＳ素子の研究を行なっている。特に、動物の「繊毛」の動作を模擬する「繊毛型アクチュエータ」を大面積にわたって並べて協調動作をする素子を目的としている。本実験では新しく、光によって硬化するポリイミド材料を用いて、それがＭＥＭＳ構造の精細さでパターニング可能であり、パターニングした素子が従来手法で作製した素子と同等の動作をすることが確かめることができた。

要約(英語): The authors are conducting an autonomous distributed MEMS research since early 1990s. Nowthey are involved in an international project dealing with a new concept of self-reconfigurablemicro-conveyor based on a “ciliary” type micro-actuators laid in matrix over large surface. Thesimplified fabrication method has been successful by direct UV-lithography on photosensitivepolyimides. New device characteristics are equivalent to those by classical method.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,092 Kバイト