ＬＳＩ一体型赤外線リニアセンサアレイの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS12020

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2012/06/12

タイトル(英語): Development of an LSI-integrated linear infrared sensor array

著者名: 平田 泰之(住友精密工業),木内 万里夫(住友精密工業),松岡 元(住友精密工業),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Hirata Yasuyuki(Sumitomo Precition Products co.,LTD),Kiuchi Mario(Sumitomo Precition Products co.,LTD),Matsuoka Gen(Sumitomo Precition Products co.,LTD),Ono Takahito(Touhoku University)

キーワード: 赤外線|センサアレイ|ＬＳＩ|ゴーレイセル|Infrared|sensor array|LSI|Golay Cell

要約(日本語): 近年、排気ガス、原料ガス、毒物、農薬検知など環境モニターとしてのガスセンサーの必要性が高まっている。高感度赤外線分光器をＬＳＩ上に集積化した小型で高感度なセンサーを試作する。測定原理として物質が固有の振動数の赤外線を吸収する原理を利用して、検出波長範囲が広く高感度なゴーレイセル型の赤外センサアレイを作製することを目的とした。この製作方法と試作結果について報告する。

原稿種別: 日本語

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