有機薄膜トランジスタ（TFT）を利用したMEMS加速度センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS12022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2012/06/12

タイトル(英語): MEMS accelerometer using organic thin film transistor

著者名: 北村 健太朗(関西大学),鈴木 昌人(関西大学),高橋 智一(関西大学),青柳 誠司(関西大学)

著者名(英語): Kitamura Kentaro(Kansai University),Suzuki Masato(Kansai University),Takahashi Tomokazu(Kansai University),Aoyagi Seiji(Kansai University)

キーワード: 有機半導体|有機薄膜トランジスタ|加速度センサ|薄膜トランジスタ|浮遊構造|ペンタセン|organic semiconductor |o-TFT|accelerometer|TFT|floating structure|pentacene

要約(日本語): 本発表では，有機薄膜トランジスタ（TFT）を利用したMEMS加速度センサについて述べる．提案する加速度センサは，有機半導体であるペンタセンを用いたTFTを部分的に浮遊化した構造を有する．本センサに加速度が印加されると，浮遊化部分がたわみ，ペンタセンの移動度が変化により，TFTの特性が変化する．本センサは柔軟な基板上に作製可能である為，曲面にも貼付可能である．本研究では，主にセンサ原理・構造の提案，および有機TFTの作製と評価を実施した．

要約(英語): MEMS accelerometer using organic thin film transistor (TFT) is developed.Proposed accelerometer have a floating structure. When acceleration is applied to the sensor, characteristic of the TFT is changed because it is deflected by the acceleration.We mainly carried out a fabrication and evaluation of the organic TFT .

原稿種別: 日本語

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