アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS13001

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2013/08/08

タイトル(英語): A Study on an Arrayed MEMS Accelerometer

著者名: 佃 真文(東京工業大学),山根 大輔(東京工業大学),小西 敏文(NTTアドバンステクノロジ),松島 隆明(NTTアドバンステクノロジ),加賀谷 賢(東京工業大学),伊藤 浩之(東京工業大学),石原 昇(東京工業大学),年吉 洋(東京大学),町田 克之(NTTアドバンステクノロジ),益 一哉(東京工業大学)

著者名(英語): Tsukuda Masafumi(Tokyo Institute of Technology),Yamane Daisuke(Tokyo Institute of Technology),Konishi Toshifumi(NTT Advanced Technology Corporation),Matsushima Takaaki(NTT Advanced Technology Corporation),Kagaya Ken(Tokyo Institute of Technology),Ito Hiroyuki(Tokyo Institute of Technology),Ishihara Noboru(Tokyo Institute of Technology),Toshiyoshi Hiroshi(The University of Tokyo),Machida Katsuyuki(NTT Advanced Technology Corporation),Masu Kazuya(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: メムス|金めっき|加速度センサ|アレイ型|シーモスメムス|集積化|MEMS|gold electroplating|accelerometer|arrayed|CMOS-MEMS|integration

要約(日本語): 今後の加速度センサには多軸化だけでなく、小型化かつ加速度検出範囲の拡大が期待されている。本研究では高密度の金によるMEMS構造で加速度センサを小型化し、集積化CMOS－MEMS技術と融合することで高性能なセンサを実現する。今回はアレイ型MEMS加速度センサを検討したので報告する。

要約(英語): This paper reports the design, micro-fabrication and evaluation results of a novel 3-by-3 arrayed MEMS accelerometer by exploiting gold electroplating.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 985 Kバイト