可動シリコン導波路を用いたディスク型光共振器の結合効率制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS13002

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2013/08/08

タイトル(英語): The coupling ratio control of microdisk resonators with movable silicon waveguides

著者名: 金森 義明(東北大学),佐藤 裕一(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Kanamori Yoshiaki(Tohoku University),Sato Yuichi(Tohoku University),Hane Kazuhiro(Tohoku University)

キーワード: 光共振器|ＭＥＭＳ|光学特性|光通信|シリコン導波路

要約(日本語): 微小アクチュエータがモノリシックに一体化したシリコンのディスク型微小光共振器を製作し、光スイッチ特性を評価した。共振器は微小ディスク、可動導波路、固定導波路、櫛歯アクチュエータなどから構成される。可動導波路と微小ディスク間のギャップがアクチュエータにより制御され、その結果、共振器の光結合効率が変わる。21Vの駆動電圧で動作し、波長1553.3nmの共振波長に対して8.8dBの消光比を得た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,007 Kバイト