極微小静電くし駆動アクチュエータを用いたシリコンフォトニック導波路スイッチの応答時間

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS13004

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2013/08/08

タイトル(英語): Time response of a silicon photonic waveguide switch using an ultra-small electrostatic comb-drive actuator

著者名: Chu Manh Hoang (東北大学),阿部 翔太郎(東北大学),宗正 康(東北大学),佐々木 敬(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Chu Manh Hoang (Tohoku University),Abe Syotaro(Tohoku University),Munemasa Yasushi(Touhoku University),Sasaki Takashi(Tohoku University),Hane Kazuhiro(Tohoku University)

キーワード: シリコンフォトニクス|スイッチ|時間応答|silicon photonics|switch|time response

要約(日本語): シリコン細線導波路はシリコンフォトニクス回路への応用が期待されている．導波路の幅はサブミクロンと小さいが，極微小の静電くしアクチュエータと組み合わせることで，導波路スイッチを構成できる．本研究では，シリコン細線導波路カプラーと極微小のアクチュエータを組み合わせたスイッチにおいて，これまでに明らかにされていない応答時間を測定した結果について報告する．機械振動モデルから，スイッチの応答時間を説明するに必要なダンピング係数を明らかにした．

要約(英語): The response time of silicon photonic waveguide switch using ultra-small actuator was investigated. The switch was designed and fabricated. The measured time response was explained by a mechanical model.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 894 Kバイト