BiFeO3強誘電体薄膜を用いた圧電型振動発電デバイスの作製とその評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS13005

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2013/08/08

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of Piezoelectric Vibration Energy Harvester Using Ferroelectric BiFeO3 Films

著者名: 村上 修一(大阪府立産業技術総合研究所),吉村 武(大阪府立大学大学院),若園 佳佑(大阪府立大学大学院),苅谷 健人(大阪府立大学大学院),藤村 紀文(大阪府立大学大学院)

著者名(英語): Murakami Shuichi(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Yoshimura Takeshi(Osaka Prefecture University),Wakazono Keisuke(Osaka Prefecture University),Kariya Kento(Osaka Prefecture University),Fujimura Norifumi(Osaka Prefecture University)

キーワード: 振動発電|ＢｉＦｅＯ３|ＭＥＭＳ|ＬａＮｉＯ３|強誘電体薄膜|圧電型|vibration energy harvester|BiFeO3|MEMS|LaNiO3|ferroelectric film|piezoelectric

要約(日本語): 近年、身近な環境から電力を生み出す環境発電が注目されている。我々は振動方式、中でもとりわけ今後の高性能化が期待できる圧電型に着目し、MEMS技術を使った微小な振動発電デバイスの開発を行っている。本研究では、発電性能の性能指数において期待できる非鉛圧電体薄膜であるBiFeO3薄膜を搭載した振動発電デバイスを試作・評価した。その結果、BiFeO3薄膜が振動発電デバイス向け圧電体材料として有望であることが分かったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 932 Kバイト