MEMS技術を用いた音波の熱的な検知に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS13007

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2013/08/08

タイトル(英語): A research on thermal detection of acoustic wave using MEMS technology

著者名: 施 英漢(東京大学),三田 吉郎(東京大学),久保田 雅則(東京大学)

著者名(英語): Shi Yinghan(University of Tokyo),Mita Yoshio(University of Tokyo),Kubota Masanori(University of Tokyo)

キーワード: ＭＥＭＳ|バルクマイクロマシニング|熱マイクロフォン|MEMS|Bulk Micromachining|Thermal Microphone

要約(日本語): 音波に伴う断熱的圧縮膨張による雰囲気温度の変化を、MEMS技術によって高感度かつ高速応答を実現したした浮游細線型のサーミスタ・ブリッジで検知し、熱型のマイクロホンデバイスとして機能させることを目指す。既存の圧力式のマイクロホンと比較して、100分の1程度の面積でマイクロホン機能を実現できる手法であり、今後のLSI高機能・多機能化に大きく貢献するものである。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,103 Kバイト