熱位相遅れを用いた薄膜物質の厚さの非破壊計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS13008

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2013/08/08

タイトル(英語): Phase deference calorimetry device for non-destructive measurement of thickness in the thin surface layer

著者名: 鈴木 崇大(東京大学大学院),市川 安孝(東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻),高畑 智之(東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻),松本 潔(東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻),下山 勲情報理工学系研究科知能機械情報学専攻(東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻)

著者名(英語): suzuki takahiro(The university of Tokyo),ichikawa yasutaka(The university of Tokyo),takahata tomoyuki(The university of Tokyo),matsumoto kiyoshi(The university of Tokyo),shimoyama isao(The university of Tokyo)

キーワード: 非破壊計測|温度波熱分析法|熱拡散率|non-destructive measurement|temperature wave analysis|thermal diffusivity

要約(日本語): 本研究では,熱拡散係数の異なる層状物質の厚さを非破壊で推定することを目 的 として，熱源から計測試料を通り温度計測部に伝わるまでの時間を計測した．アルミ板の上に厚さの異なるシリコンゴムを置いた試 料を用いた．シリコンゴム の熱拡散係数はアルミより小さいため，シリコンゴムが厚いほど熱が伝搬するの にかかる時間が長くなる． 実験の結果，シリコンゴムの厚さが推定できることを確かめた．

要約(英語): This paper reports on a device for non-destructive measurement of the thickness of a thin surface layer. The device consists of the heat source and resister temperature detectors (RTD) at an interval. Applying an alternating current voltage to the heat source , we measured resistance change of RTDs．The phase delay between the applied alternating current voltage and resistance change of RTDs occurred. The measured phase delay depended on the thickness of the thin surface layer.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,284 Kバイト