集束イオンビームを用いたグラフェンの片持ち梁構造への加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS13009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2013/08/08

タイトル(英語): Graphene Cantilever Directly Patterned By Focused Ion Beam

著者名: 松井 一真(東京大学),稲葉 亮(東京大学),竹井 裕介(東京大学),髙畑 智之(東京大学),松本 潔(東京大学),下山 勲(東京大学)

著者名(英語): Matsui Kazuma(The University of Tokyo),Inaba Akira(The University of Tokyo),Takei Yusuke(The University of Tokyo),Takahata Tomoyuki(The University of Tokyo),Matsumoto Kiyoshi(The University of Tokyo),Shimoyama Isao(The University of Tokyo)

キーワード: グラフェン|片持ち梁|集束イオンビーム|Graphene|Cantilever|Focused ion beam

要約(日本語): 集束イオンビーム（FIB）で、2-3層のグラフェンを片持ち梁構造に加工した。従来、グラフェンの片持ち梁は、溝上にグラフェンを転写した際に形状の一部が破断することを利用して製作していた。しかし、この手法では狙った片持ち梁形状が得られなかった。本研究では、幅3 umの溝を形成しグラフェンを転写した。その後FIBで切断することにより、幅1.34 um、長さ2.13 umの片持ち梁を得た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,200 Kバイト