共振振動を用いた焦点可変マイクロミラーの変形特性最適化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS14004

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2014/05/27

タイトル(英語): Optimization of surface profile for varifocal micro mirror using resonant vibration

著者名: 中澤 謙太(東北大学),佐々木 敬(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Nakazawa Kenta(Tohoku University),Sasaki Takashi(Tohoku University),Hane Kazuhiro(Tohoku University)

キーワード: マイクロミラー|焦点可変|共振振動|変形形状|振動特性

要約(日本語): Micro-electro-mechanical systems(MEMS)を用いた焦点可変機構は圧電駆動や静電駆動でメンブレンを変形させる機構がある．静電駆動では大きな焦点可変幅を得るためには大きな電圧が必要であることが問題点である．そこで我々は周期的に静電引力をミラーに印加し，共振振動を生じさせることで静荷重よりも大きな変形を得ることを提案している．本発表では共振振動を用いた焦点可変マイクロミラーの変形特性および振動特性の評価及び最適化について報告する．

要約(英語): We evaluated the surface profile of resonant vibration varifocal mirror actuated electrostatically. The varifocal mirror was fabricated by bonding silicon-on-insulator wafer and glass wafer. Three types of varifocal mirror having different circumferential structures were fabricated. The deviation of the measured surface profile from a parabola is smaller than 70 nm in the case of the mirror with soft circumference.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,349 Kバイト