ナノスリットを有するショットキー型表面プラズモン検出器の感度向上

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS14009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2014/05/27

タイトル(英語): Responsivity improvement of Schottky-type surface plasmon detector with nano slits

著者名: 武田 愛弓(豊橋技術科学大学),相原 卓磨(豊橋技術科学大学),福原 誠史(豊橋技術科学大学),石井 佑弥(豊橋技術科学大学),福田 光男(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Takeda Ayumi(Toyohashi University of Technology),Aihara Takuma(Toyohashi University of Technology),Fukuhara Masashi(Toyohashi University of Technology),Ishii Yuya(Toyohashi University of Technology),Fukuda Mitsuo(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 表面プラズモン|ナノスリット|光検出器|ショットキー障壁|surface plasmon |nano slits|photodetector|Schottky barrier

要約(日本語): 近年、情報処理デバイスの高速・大容量化の実現に向けて、表面プラズモン（SP）を利用した光電子集積回路が注目されている。我々は、その主要部品となるAu/Siショットキー型SP検出器を開発してきた。本検出器では、Au薄膜上にナノスリットが周期的に形成されており、これによりSPをAu/Si界面に励起させている。本発表では、SPを効率的に励起させるためのスリット深さ、および、スリット周期について述べる。

要約(英語): We have developed a Schottky-type surface plasmon (SP) detector. Nano slits are formed on an Au thin film in this detector, and SPs are excited at the Au/Si interface by these nano slits. In this paper, the analytical and experimental results for the optimization of the nano-slit structure are described in detail.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,734 Kバイト