検出器構造を有する低損失表面プラズモン導波路

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS14010

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2014/05/27

タイトル(英語): Low-loss plasmon waveguide with a detection structure

著者名: 太田 雅(豊橋技術科学大学),福原 誠史(豊橋技術科学大学),酒井 宏基(豊橋技術科学大学),相原 卓磨(豊橋技術科学大学),石井 佑弥(豊橋技術科学大学),福田 光男(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Ota Masashi(Toyohashi University of Technology),Fukuhara Masashi(Toyohashi University of Technology),Sakai Hiroki(Toyohashi University of Technology),Aihara Takuma(Toyohashi University of Technology),Ishii Yuya(Toyohashi University of Technology),Fukuda Mitsuo(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 表面プラズモン|光デバイス|光・電子融合素子|ＯＥＩＣ|回折格子|surface plasmon|optical device|optoelectronic device|OEIC|diffraction grating

要約(日本語): シリコン上に形成できる表面プラズモン（SP）導波路はSPデバイスの重要な構成要素である。我々は，シリコン基板上にAu薄膜を形成し，薄膜表面を伝播しているSPを，金属回折格子を介してAu/Si界面に伝達させ，光電流として検出する構造を実現した。さらに本構造において，電磁界解析より，Au/Si界面に伝達する表面プラズモンの伝搬方向を回折格子のピッチで制御できることを確認したので報告する。

要約(英語): The surface plasmon polariton (SPP) waveguide fabricated on silicon substrates is an important component for SPP devices. We demonstrate a simple diffraction structure (Au gratings) where the SPPs couple from the waveguide to a Au/Si Schottky diode detector in this report. In addition, we confirm that the propagation direction of the coupled SPP at the Au/Si interface is controlled by adjusting the slit pitch.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,317 Kバイト