サブミクロンギャップを有するMEMS可変メタマテリアルの製作と設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS14015

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2014/05/27

タイトル(英語): Design and Fabrication of MEMS Tunable Metamaterials with Sub-micron Gap

著者名: 磯崎 瑛宏(東京大学),菅 哲朗(東京大学),高橋 英俊(東京大学),神田 夏輝(理化学研究所),根本 夏紀(東京大学),小西 邦昭(東京大学),五神 真(東京大学),松本 潔(東京大学),下山 勲(東京大学)

著者名(英語): Isozaki Akihiro(The University of Tokyo),Kan Tetsuo(The University of Tokyo),Takahashi Hidetoshi(The University of Tokyo),Kanda Natsuki(RIKEN),Nemoto Natsuki(The University of Tokyo),Konishi Kuniaki(The University of Tokyo),Kuwata-Gonokami Makoto(The University of Tokyo),Matsumoto Kiyoshi(The University of Tokyo),Shimoyama Isao(The University of Tokyo)

キーワード: メタマテリアル|テラヘルツ|ＭＥＭＳ

要約(日本語): スプリットリング共振器(SRR)同士の距離を近づけるほど，透過特性のSRR間距離依存性が大きくなることが知られている．しかしながら、構造可変なSRRを対象波長の1000分の1程度まで接近させることはこれまで難しかった。我々は，基板垂直方向の変位のみを許す片持ち梁上にSRRを配置することにより初期SRR間距離200nmを実現し，SRR間距離のわずかな変化のみで敏感に透過特性が変化することを確認した．

要約(英語): We proposed a metamaterial, which consists of coupled split ring resonators whose separation can be controlled by moving one resonator in the out-of-plane direction on a substrate. The structure offered a tunable metamaterial whose transmittance property was sensitively changed by small structural moving. In this report, we simulate electromagnetic and mechanical properties of the proposed metamaterial and demonstrate actuating the fabricated metamaterial.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,015 Kバイト