静電駆動カンチレバーによるＭＥＭＳスプリットリング共 振子アレイのテラヘルツ可変フィルタ応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS14017

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2014/05/27

タイトル(英語): A MEMS Split-Ring Resonator Array with Electrostatic Cantilever for Tunable Filter in THz Range

著者名: 韓 正利(東京大学),河野 健太(東京大学),Makela Tapio(VTT Microsystems and Nanoelectronics),Haatainen Tomi(VTT Microsystems and Nanoelectronics),平川 一彦(東京大学),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Han Zhengli(The University of Tokyo),Kohno Kenta(The University of Tokyo),Makela Tapio(VTT Microsystems and Nanoelectronics),Haatainen Tomi(VTT Microsystems and Nanoelectronics),Hirakawa Kazuhiko(The University of Tokyo),Fujita Hiroyuki(The University of Tokyo),Toshiyoshi Hiroshi(The University of Tokyo)

キーワード: ＭＥＭＳ|メタマテリアル|テラヘルツ|スプリットリン　グ共振子|可変フィルタ|静電駆動|MEMS|metamaterial|terahertz|split ring resonator|tunable filter|electrostatic actuation

要約(日本語): 表面マイクロマシニング技術により、ＭＥＭＳメタマテリアル型のテラヘルツ周波数フィルタを製作した。スプリットリング共振子内部に静電駆動型の可変容量を配置し、共振周波数を制御する。実験により、0.4～0.8THzの範囲でデバイス動作を確認した。

要約(英語): We propose and demonstrate a surface micromachinedtunable terahertz filter by using metamaterial based on the MEMS　technique. A reconfiguring RF-MEMS capacitor is embedded within the　metamaterial unit cell of split-ring resonator to tune the resonant　frequency. Operation principle was been experimentally confirmed in a　0.4-0.8 THz range.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,466 Kバイト