アルミナノワイヤを用いた透過型表面プラズモンカラーフィルタの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS14019

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2014/05/28

タイトル(英語): Fabrication of transmission color filter based on surface plasmon using aluminum nanowire array

著者名: 本間 浩章(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Honma Hiroaki(Toyohashi University of Technology),Takahashi Kazuhiro(Toyohashi University of Technology),Ishida Makoto(Toyohashi University of Technology),Sawada Kazuaki(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 表面プラズモン|カラーフィルタ|ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ|Surface plasmon|Color filter|MEMS/NEMS

要約(日本語): 本研究では、表面プラズモンによる異常透過を利用した透過型カラーフィルタを製作した。シリコン基板からリリースしたアルミナノワイヤアレイに光を入射すると、ナノワイヤの周期に依存した特定波長のみが強く透過する。電子線直接描画によりワイヤの幅を250 nmで統一して形成し、周期を450 nmから600 nmまで50 nmずつ拡げた4種類のカラーフィルタを製作した。周期の増加に伴い透過波長ピークが長波長側にシフトすることを透過スペクトルより確認し、最大透過率56%のRGBカラーフィルタを実証した。

要約(英語): This paper presents transmission color filters based on a subwavelength aluminum (Al) grating. An array of Al nanowires was deployed over a through hole. The subwavelength Al grating was patterned by EB direct writing and formed by liftoff technique. The peak wavelength of the transmitted light was red-shifted by increasing the gap of the subwavelength grating, and RGB color was expressed. The maximum measured transmittance of the peak wavelength was 56%. The experimentally obtained peak wavelengths of the transmitted light agreed well with the theoretical values. The proposed RGB color filters have potential application as tunable full color filters based on surface plasmon.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,447 Kバイト