マルチフィジクス・シミュレーションを用いたアレイ型MEMS論理デバイスの制御方法の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15015

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): A study on an operation sequence for arrayed MEMS logic devices with multi-physics simulation

著者名: 小西 敏文(NTTアドバンステクノロジ),三田 信(宇宙航空研究開発機構),藤田 博之(東京大学),町田 克之(NTTアドバンステクノロジ),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Toshifumi Konishi(NTT Advanced Technology Corp.),Makoto Mita(The Japan Aerospace Exploration Agency),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo),Katsuyuki Machida(NTT Advanced Technology Corp.),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo)

キーワード: マルチフィジクス・シミュレーション|回路シミュレータ|ＭＥＭＳ論理デバイス|アレイ配置|同時解析|独立制御|multi-physics simulation|circuit simulator|MEMS logic device|arrayed formation|simultaneous analysis|independent control

要約(日本語): 近年、加速度センサ等の様々なMEMSデバイスの高機能化に伴い、複数のMEMSデバイスの挙動を同時に制御・解析することが重要になっている。今回、10×10のアレイ状に配置したMEMS論理デバイスを同時に制御する手法を提案し、集積回路設計環境上に構築したマルチフィジクス・シミュレーション技術を用いて、デバイスの非線形な挙動の解析を実施した。その結果、提案手法を用いて個々のデバイスを同時かつ独立に制御可能であることを確認した。

要約(英語): The validity of operation sequence for 10 x 10 arrayed MEMS logic devices was examined by using a multi-physics simulation implemented on a circuit simulator. Transient analysis of the non-linear behaviors of electrostatic actuators showed that the simultaneous and independent control of each device was feasible.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,194 Kバイト