真空蒸着Eu(TTA)３薄膜を用いた赤外線熱イメージングセンサー

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15016

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): Infrared Thermal Imaging Sensor using Vacuum Evaporated Eu(TTA)3 Film

著者名: 王 敏(東北大学),塚本 貴城(東北大学),田中 秀治(東北大学)

著者名(英語): Min Wang(Tohoku University),Takashiro Tsukamoto(Tohoku University),Shuji Tanaka(Tohoku University)

キーワード: 赤外線熱イメージング|Ｅｕ（ＴＴＡ）３|真空蒸着感温膜|Infrared thermal imaging|Eu(TTA)3|Vacuum deposited temperature sensitive film

要約(日本語): 本研究では、Eu(TTA)3を用いた赤外線熱イメージングセンサーの設計，製作及び評価について報告する。Eu(TTA)3は温度により発光強度が変わる材料であり，MEMS技術を用いて作製された断熱構造体の上に真空蒸着法によって堆積させることで，赤外線をいったん熱に変換し，最終的に可視画像として読み出すことができる．Eu(TTA)3薄膜の発光強度の温度依存性は約?2%/oCであった．また，76 × 98画素のセンサーを試作し，人間の検知が可能であることを実証した．

要約(英語): This paper describes a design, fabrication and evaluation of an infrared thermal imaging sensor using vacuum deposited Eu(TTA)3 thin film. The Eu(TTA)3, which emits the temperature dependent luminescence, was deposited on a high thermal isolation polymer structure made by MEMS technology. The temperature sensitivity of the vacuum deposited Eu(TTA)3 was about ?2.1%/oC. A sensor array with 76 × 98 pixels was fabricated and a thermal image of human could be successfully obtained.

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 1,941 Kバイト