異なる市販ゾルを用いたゾル・ゲル法によるPZT薄膜の成膜と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15017

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): Sol-Gel Deposition and Characterization of PZT Thin Films Synthesized from Different Commercial Sols.

著者名: 森山 雅昭(東北大学),田中 秀治(東北大学)

著者名(英語): Masaaki Moriyama(Tohoku University),Shuji Tanaka(Tohoku University)

キーワード: ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）|ゾル・ゲル法|ＲＴＡ（高速昇温加熱）|ＸＲＤ（Ｘ線回折）|強誘電体特性|PZT(Lead Zirconate Titanate)|Sol-gel method|RTA (rapid thermal annealing)|XRD(X‐Ray Diffraction)|Ferroelectric Property

要約(日本語): PZT薄膜はMEMSの高性能トランスデューサーとして広く用いられている。その代表的な成膜法の1つであるゾル・ゲル法は，その均一性の良さや簡便性から広く用いられている。現在，複数のPZTゾルが市販されているが，ユーザーの立場から言うと自らの用途や装置にそのゾルが適するのかは大きな関心事である。本研究では，本学の自動ゾル・ゲル装置で複数の市販ゾルを用いてPZTを成膜し，その特性を評価・比較・考察した。

要約(英語): The major deposition method of PZT is sol-gel method because of its good uniformity and simplicity. At present, different PZT sols are commercially available, and users are interested in which is the best-fitted sol for their applications and deposition tools. In this study, PZT thin films were deposited using different commercial sols, and their characteristics were evaluated, compared and discussed.

原稿種別: 日本語

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