熱重量測定のためのヒータ集積化QCMの電極形状の最適化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): Optimization of the electrode shape of a microheater-integrated QCM for thermogravimetric analysis

著者名: 田川 侑弥(新潟大学),信濃 耀介(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Yuya Tagawa(Niigata University),Yosuke Shinano(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University)

キーワード: ＱＣＭ|熱重量測定|ガス状汚染物|QCM|Thermogravimetric analysis|Gaseous contaminant

要約(日本語): 実機搭載に向けて，宇宙材料評価用小型ヒータ集積化QCMセンサの電極形状を最適化し，昇温特性および温度分布の評価を行った．最適化を行ったQCMは低消費電力かつ高い周波数の安定性を示すことを見出した．

要約(英語): We optimized the electrode shape of a microheater-integrated QCM sensor for evaluating spacecraft materials. Then,we evaluated heating properties and temperature distributions of the QCM sensor. Finally, we found out the optimized QCM shows low power consumption and the high stability of frequency at the desired temperature.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,645 Kバイト