CYTOP／パリレン積層エレクトレットの性能評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): Characterization of electret made of CYTOP/parylene stack

著者名: 鈴木 昌人(関西大学),下木崎 誠(関西大学),高橋 智一(関西大学),青柳 誠司(関西大学)

著者名(英語): Masato Suzuki(Kansai University),Makoto Shimokizaki(Kansai University),Tomokazu Takahashi(Kansai University),Seiji Aoyagi(Kansai University)

キーワード: エレクトレット|エナジーハーべスティング|複合材料|electret|Energy harvesting|Composite material

要約(日本語): 静電誘導方式の小型振動発電に必要なエレクトレットの高性能化を目標として、異なる有機材料を積層した薄膜の電荷保持性能を評価した。エレクトレット材料としてはフッ素樹脂であるCYTOP、およびポリパラキシレン(パリレン)を用いた。この結果、CYTOとパリレンを積層したエレクトレットは、CYOTOP、またはパリレン膜のみで構成されたエレクトレットより表面電荷密度が高くなることが見出された。

要約(英語): The retention property of electret made of stacked CYTOP/polyparaxylene (parylene) was evaluated. As a result, it is found that surface charge density of the stacked electret is higher than that of a monolayered electret comprised of only CYTOP or parylene.

原稿種別: 日本語

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