ピエゾ抵抗変位センサを集積した共振型焦点可変ミラーの製作と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15023

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): Fabrication and measurement of a resonant varifocal mirror integrated with piezoresistive displacement sensor

著者名: 中澤 謙太(東北大学),佐々木 敬(東北大学),古田 裕正(パナソニックデバイスSUNX),神谷 二朗(パナソニックデバイスSUNX),神谷 東志一(パナソニックデバイスSUNX),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Kenta Nakazawa(Tohoku University),Takashi Sasaki(Tohoku University),Hiromasa Furuta(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd),Jiro Kamiya(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd),Toshikazu Kamiya(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: 焦点可変ミラー|ピエゾ抵抗センサ|共振振動|varifocal mirror|piezoresistive sensor|resonant vibration

要約(日本語): MEMS技術を用いた焦点可変ミラーは高速，低消費電力で集光点を変化させる素子として応用が期待されている．しかし，これまでに焦点距離を駆動中にモニタできる焦点可変ミラーは報告されていない．そこで我々は焦点可変ミラーにピエゾ抵抗センサを集積することを提案し，製作と評価を行ったので報告する．

要約(英語): Varifocal mirror is a fundamental optical component for adjustment of focus. To measure the focal length, the deformation of varifocal mirror should be measured. However, the displacement sensor is not integrated in varifocal mirror. In this study, we present results of fabrication and measurement of varifocal mirror integrated with piezoresistive sensor.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,357 Kバイト