駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーの数理解析モデルの構築

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15024

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): Mathematical modeling and analysis of MEMS electrostatic-driven deformable mirror using movable bottom electrodes

著者名: 宇野 亜季子(京都大学),ビジー　クマール シン(京都大学),平井 義和(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)

著者名(英語): Akiko Uno(Kyoto University),Singh Vijay Kumar(Kyoto University),Yoshikazu Hirai(Kyoto University),Toshiyuki Tsuchiya(Kyoto University),Osamu Tabata(Kyoto University)

要約(日本語): 眼底検査において，検査光の光学収差を補正するための波面補償素子としてMEMS技術による可変形状ミラーが注目されている．我々は，低電圧で大きな変位量を実現する新たな駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーを提案し，有限要素解析により動作検証し，試作を行っている．本発表では，有限要素解析に代わるリアルタイム制御のための，薄板曲げ理論に基づく簡易な解析モデルの構築を行い，その有用性を確認した．

要約(英語): Deformable mirrors are widely utilized for real time image compensation in fundoscopy by correcting wave front of warped inspection light. We have proposed a new deformable mirror which can realize large displacement at low voltage. Simple mathematical modeling and analysis based on the plate theory is reported.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,568 Kバイト