静電櫛歯アクチュエータを用いた表面プラズモン可変カラーフィルタの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15025

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): Fabrication of surface-plasmon-based tunable color filter using electrostatic comb-drive actuator

著者名: 本間 浩章(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Hiroaki Honma(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology),Makoto Ishida(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 表面プラズモン|静電櫛歯アクチュエータ|可変カラーフィルタ|Surface plasmon|Electrostatic comb drive actuator|Tunable color filter

要約(日本語): 　本研究では、アルミサブ波長格子の表面プラズモンによる異常透過を、静電櫛歯アクチュエータにより制御する透過型可変カラーフィルタを製作した。アクチュエータによりサブ波長格子の周期を一定に拡張させ透過光を制御する。電子線直接描画により、周期450 nm、格子幅250 nmを持つアルミサブ波長格子と静電櫛歯アクチュエータを形成した。駆動電圧12 Vで750 nmのアクチュエータの変位が得られ、サブ波長格子の周期拡張に成功した。

要約(英語): This paper presents a surface-plasmons-based tunable color filter using an aluminum (Al) subwavelength grating operated by an electrostatic comb-drive actuator. The actuator is used to constantly change the period of the Al subwavelength grating. We obtained a 750 nm displacement of the actuator by applied voltage of 12 V.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,573 Kバイト