帯電ナノ微粒子の自己組織的配列構造を鋳型としたプラズモニックカラーフィルタ形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15031

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): Plasmonic color filters fabricated from self-assembled arrays of charged nano-spheres

著者名: 青木 画奈(神戸大学),米山 貴之(神戸大学),藤井 稔(神戸大学)

著者名(英語): Kanna Aoki(Kobe University),Takayuki Yoneyama(Kobe University),Minoru Fujii(Kobe University)

キーワード: カラーフィルタ|プラズモン|ナノ微粒子|自己組織化|微細加工|color filter|plasmon|nano sphere|self-assembly|nano fabrication

要約(日本語): 従来の表面プラズモンカラーフィルタは、金属薄膜に、収束イオンビームや電子線描画およびドライエッチングを用いて、ナノホールアレイを逐一形成する方法により作製されている。これらの生産速度が遅く、実用展開が難しい方法に代わり、帯電ナノ微粒子が自発的に形成する周期構造を鋳型として、プラズモンカラーフィルタが要求する微細構造を、安価かつ短時間に作製する方法を提案する。

要約(英語): Existing surface plasmon color filters consist of metal films with nano hole-arrays, which were formed one-by-one using focused ion beam or electron beam lithography and dry etching. As a replacement of these slow and expensive techniques, lift-off approach with a template formed by self-organized array of charged nano-spheres is proposed.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,846 Kバイト