MEMSセンサのスケーリング効果と将来に向けた開発の方向性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15039

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/09/18

タイトル(英語): The scaling effect in MEMS sensors and future directions

著者名: 高尾 英邦(香川大学)

著者名(英語): Hidekuni Takao(Kagawa University)

キーワード: ＭＥＭＳ|マイクロセンサ|スケーリング効果|MEMS|microsensor|scaling effect

要約(日本語): 本講演MEMSセンサ，デバイスのスケーリング効果と将来に向けた開発の方向性について議論する。

要約(英語): In this paper, the scaling effect in MEMS devices and sensors are discussed to cosider future directions of device development.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 478 Kバイト