MEMSマイクロホンとスケール効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS15040

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2015/09/18

タイトル(英語): MEMS microphone and its scale effect

著者名: 笠井 隆(オムロン)

著者名(英語): Takashi Kasai(Omron corporation)

キーワード: ＭＥＭＳマイクロホン|スケール効果|MEMS microphone|Scale effects

要約(日本語): MEMSマイクロホンは、急激に市場が拡大し普及しているデバイスであるが、需要増加に合わせて、音響性能向上と堅牢性といった性能の向上も年々求められている。従来の機械式（ECM）に較べMEMS式は小型であることから、空気の熱雑音などのスケール効果の影響を受けやすく、スケール効果の影響をいかに軽減するかが高性能化の鍵となっている。MEMSマイクロホンに影響を与えるスケール効果について報告する。

要約(英語): MEMS microphone is required to improve acoustical performance and reliability. As MEMS microphone is very smaller than Electret condenser microphone, it is seriously affected by scale effects. This report describes scale effects related with MEMS microphone and how to improve its performance.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,834 Kバイト