焦電効果を用いた高温環境用静電アクチュエータの特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS16009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2016/06/29

タイトル(英語): Evaluation of an electrostatic actuator for high temperature environment using a pyroelectric effect

著者名: 尾﨑 隼人(岡山大学),神田 岳文(岡山大学)

著者名(英語): Hayato Osaki(Okayama University),Takefumi Kanda(Okayama University)

キーワード: 焦電効果|静電アクチュエータ|高温|Pyroelectric effect|Electrostatic actuator|High temperature

要約(日本語): 　焦電効果では，単位時間あたりの温度変化に比例して焦電体表面に電荷が発生し，高温環境においては，室温と比較して温度変化により発生する電荷量が増加する．本研究では，キュリー温度付近で焦電定数が極大となるPZTを用いた静電アクチュエータを試作した．さらに，雰囲気温度を制御することにより試作した静電アクチュエータの駆動実験を行い，250℃から50℃の温度変化を与えた際に365mNの静電力が得られた．

要約(英語): In this study, an electrostatic actuator for high temperature condition using a pyroelectric effect of a lead zirconate titanate (PZT) has been fabricated. The basic performance of the fabricated actuator has been evaluated. When the temperature change was 50K at 250℃, the electrostatic force which was generated by the pyroelectric effect was 365mN.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,285 Kバイト