金ナノグレーティング構造の静電駆動による光位相変調

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS16012

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2016/06/29

タイトル(英語): Optical phase modulation using electrostatically-driven Au nanograting

著者名: 木下 卓哉(東京農工大学),志村 崇(東京農工大学),石井 美帆(東京農工大学),岩見 健太郎(東京農工大学),梅田 倫弘(東京農工大学)

著者名(英語): Takuya Kinoshita(Tokyo University of Agriculture and Technology),Takashi Shimura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Miho Ishii(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kentaro Iwami(Tokyo University of Agriculture and Technology),Norihiro Umeda(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: ＭＥＭＳ|メタサーフェス|ナノグレーティング|複屈折|静電アクチュエータ|位相変調|MEMS|Metasurface|Nanograting|Birefringence|Electrostatic actuator|Phase Modulation

要約(日本語): 本研究では可視光において巨大な複屈折性を持つ，金のナノグレーティング構造を静電引力により駆動し，光の位相変調を行った．グレーティングの周期の寸法を2 ?m，梁の幅の寸法を300 nm，Auの厚さを300 nm，梁の長さを100 ?mと設定し製作を行い，構造の位相差測定を，セナルモン法により行った．構造に700Vの電圧を印加することにより，波長790 nmにおいて3.7°の位相変調を確認した．今後は構造の微細化により，位相の変調量の増大を目指す．

要約(英語): This paper reports optical phase modulation using electrostatically-driven Au nanograting. In this research, Au nanograting is actuated by electrostatic force, and Au nanograting’s mechanical deformation induces modulation of optical retardation. By applying dc voltage of 700 V to the fabricated device, retardation was modulated by 3.7° at a wavelength of 790 nm.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,444 Kバイト