反応性イオンエッチングで形成した高密度ナノチャネルをもつオンチップマイクロクヌーセンポンプ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS16013

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): On-Chip micro Knudsen pump having the dense nanochannels formed by Reactive Ion Etching

著者名: 諏訪 亘(東北大学),猪股 直生(東北大学),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): wataru suwa(Tohoku University ),naoki inomata(Tohoku University ),takahito ono(Tohoku University )

要約(日本語): 本研究ではシンプルな構造のオンチップマイクロクヌーセンポンプの設計，作製，評価を行った．反応性イオンエッチングによって高密度のSiナノチャネルの作製を行い，ガラスとの陽極接合によって封止した．また，Siマイクロヒータもデバイス内に集積化し，5つの排気ユニットを持つデバイスのチャンバ内圧を，チャンバ上に設けたSiダイアフラムによって評価したところ，圧縮比9.5を得た．

要約(英語): This paper reports the design, fabrication and evaluation of an on-chip micro Knudsen pump with a simple structure. Dense Si nanochannels are fabricated by reactive ion etching, which is bonded with a glass by anodic bonding. A Si heater is also integrated on the device. The pressure of the pumping cavity is evaluated from the deformation of a diaphragm formed on the cavity. A compression ratio of 9.5 is achieved.\n

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,316 Kバイト