128 × 96画素並列16 bit出力３次元構造CMOSイメージセンサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS16014

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): 128 x 96 Pixel-Parallel Three-Dimensional Integrated CMOS Image Sensors with 16-bit Output

著者名: 後藤 正英(ＮＨＫ放送技術研究所),萩原 啓(ＮＨＫ放送技術研究所),本田 悠葵(ＮＨＫ放送技術研究所),渡部 俊久(ＮＨＫ放送技術研究所),難波 正和(ＮＨＫ放送技術研究所),井口 義則(ＮＨＫ放送技術研究所),更屋 拓哉(東京大学),小林 正治(東京大学),日暮 栄治(東京大学),年吉 洋(東京大学),平本 俊郎(東京大学)

著者名(英語): Masahide Goto(NHK Science and Technology Research Laboratories),Kei Hagiwara(NHK Science and Technology Research Laboratories),Yuki Honda(NHK Science and Technology Research Laboratories),Toshihisa Watabe(NHK Science and Technology Research Laboratories),Masakazu Nanba(NHK Science and Technology Research Laboratories),Yoshinori Iguchi(NHK Science and Technology Research Laboratories),Takuya Saraya(The University of Tokyo),Masaharu Kobayashi(The University of Tokyo),Eiji Higurashi(The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo),Toshiro Hiramoto(The University of Tokyo)

キーワード: イメージセンサ|３次元集積化技術|接合|ＳＯＩ|フォトダイオード|Ａ／Ｄ変換回路|image sensor|3-D integration|bonding|SOI|photodiode|A/D converter

要約(日本語): 超高精細と高フレームレートを両立できる次世代のイメージセンサを目指して、画素並列信号処理３次元構造CMOSイメージセンサの研究を進めている。今回、微細なAu電極を埋め込んだ基板の直接接合により、受光部と信号処理回路を３次元的に接続し、画素内で16bitのA/D変換を行うセンサの試作を行った。その結果、128×96画素の動画像出力や96 dBの広いダイナミックレンジを確認し、本センサの有用性を示した。

要約(英語): We demonstrate the operation of 128 × 96 pixel-parallel 3-D integrated CMOS image sensors with 16-bit A/D converters (ADCs). Photodiode, ADCs and 16-bit counters were implemented within every pixel by direct bonding with embedded Au electrodes. The sensor successfully confirmed its excellent linearity with a dynamic range of 96 dB. We also captured 128 × 96 pixel-parallel video images constructed from the 16-bit outputs.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,005 Kバイト