片面励起型振動子を用いた無線発振式QCMの電極形状の最適化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS16017

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): Optimization of the electrode shape for wireless QCM sensor using ACR-type resonator

著者名: 坂口 淳(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Jun Sakaguchi(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University)

キーワード: 水晶振動子微小天秤|無線|電極径|結晶方向|片面励起|QCM|wireless|electrode diameter|crystal orientation|excitation from one side

要約(日本語): 本研究では、片面励起型振動子を用いた無線発振式QCMについて報告する。これまで、我々は発振および質量検出が可能であることを実証してきた。本報では、励振電極に対しての振動子の法線方向および水平方向の位置ずれの振動特性への影響について報告する。振動子の片面の電極を励振電極径よりも大きくすることによって水平方向の位置ずれの影響を低減することに成功した。

要約(英語): This study reports a wireless-QCM using anti-parallel coupled resonator. In the previous work, we proposed new type of wireless-QCM. In this study, we evaluated the influence of the position on the vibrational properties of the QCM by changing the size of the diameter and the orientation of the crystal.

原稿種別: 日本語

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