サブ波長格子を用いたTHz波用Si反射防止構造の製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS17002

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2017/06/29

タイトル(英語): Fabrication of Si anti-reflection structures for THz waves using subwavelength gratings

著者名: 小杉 厚貴(東北大学),金森 義明(東北大学),南出 泰亜(理化学研究所),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Atsuki Kosugi(Tohoku University),Yoshiaki Kanamori(Tohoku University),Hiroaki Minamide(RIKEN),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: サブ波長格子|ＴＨｚ波|反射防止構造|Subwavelength gratings|THz waves|Anti-reflection structures

要約(日本語): 近年、THz波の技術の発展に伴い、THz波用の光学素子の開発が求められている。しかし、従来の自然由来の材料では多種多様な光学素子の実現は困難である。本研究では、マイクロマシニング技術によってSiウェハ上にサブ波長格子を製作し、人工的な光学特性を実現した。そしてT Hz波の透過率向上を試みた。その結果、0.5 THzから2.5THzの帯域で80％以上、2.14THzで最高99.5 %程度の透過率を達成するデバイスを製作することができた。

要約(英語): Si anti-reflection structures for THz waves using subwavelength gratings were fabricated.

原稿種別: 日本語

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