液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS17006

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2017/06/30

タイトル(英語): Fabrication of embedded micro channel and nozzle for liquid delivering dual silicon AFM probe

著者名: 洪 振瑞(山形大学),増田 雄介(山形大学),三浦 嘉隆(山形大学),柴田 隆行(豊橋技術科学大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Jinseo Hong(Yamagata University),Yusuke Masuda(Yamagata University),Yoshitaka Miura(Yamagata University),Takayuki Shibata(Toyohashi university of technology),Takashi Mineta(Yamagata University)

キーワード: デュアルＡＦＭプローブ|マイクロ流路|ノズル|中空カンチレバー|Dual AFM Probe|Micro-channel|Nozzle|Hollow cantilever

要約(日本語): 液体デリバリ用のデュアルシリコンAFMプローブの開発を目指し、探針形成の際、探針近傍のノズル周辺部での不必要なSi (111)面の形成を抑制するために，ノズルと流路のパターン配置を検討し，基板表面下で流路とノズルを連結する形成方法を確立してノズルと流路を設けた近接デュアルSi探針を作製した．

要約(英語): We demonstrated the fabrication process of dual atomic force microscope probe with embedded micro channel and nozzle for narrow gapped dual AFM probe with liquid delivering function. The micro channel and nozzle were connected under the surface to inhibit Si(111) slope formation around the nozzle. The embedded micro channel and nozzle were successfully fabricated and connected under the Si surface.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,011 Kバイト