Au/Siバイモルフ梁を集積化したナノグレーティング光位相変調素子の光学特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS17007

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2017/06/30

タイトル(英語): Optical properties of nanograting phase modulator with integrated Au/Si bimorph beams

著者名: 志村 崇(東京農工大学),岩見 健太郎(東京農工大学),梅田 倫弘(東京農工大学)

著者名(英語): Takashi Shimura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kentaro Iwami(Tokyo University of Agriculture and Technology),Norihiro Umeda(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: メタサーフェス|ＭＥＭＳ|構造性複屈折|ナノグレーティング|位相変調|Metasurface|MEMS|Structural birefringence|Nano grating|Phase modulation

要約(日本語): AuとSiのバイモルフ梁を集積化した，面外駆動型のAuナノグレーティング位相変調素子の解析及び設計について報告する．バイモルフ梁の下層の材料選択が位相変調特性に与える影響を，FDTD解析によって検証した．下層の材料をSiにすることで，入射光波長633 nmにおいて位相変調量が2π以上に達することが明らかとなった．この時，梁の周期は600 nm，Au及びSiの厚さはそれぞれ450及び250 nmであり，面外駆動の変位量は0～910 nmであった．

要約(英語): This paper reports optical phase modulation by out-of-plane motion of Au/Si double supported beams. Characteristics of phase modulation by the material of the lower layer of the bimorph beam were analyzed. It was revealed that the amount of phase modulation reached 2π or more by setting the material of the lower layer to Si on FDTD analysis.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,167 Kバイト