磁歪材料を用いた共振型磁気センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS17009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2017/06/30

タイトル(英語): Resonant Magnetic Sensor using a Magnetostrictive Material

著者名: 江面 大河(東北大学),猪股 直生(東北大学),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Taiga Ezura(Tohoku University),Naoki Inomata(Tohoku University),Takahito Ono(Tohoku University)

キーワード: 磁歪材料|磁気センサ|機械振動子|微細加工技術|Magnetostrictive Material|Magnetic Sensor|Mechanical Resonator|MEMS

要約(日本語): 本研究では、外部磁場に対して大きな歪みを生じる磁歪材料を用いた共振型磁気センサを設計・作製し、評価した．磁場によって生じる磁歪材料のひずみにより機械振動子に荷重を加え、その共振周波数の変化から磁場を検出する．微細加工技術を用いて作製したSi振動子に，切削加工で切り出した磁歪材料をアセンブリで組み込んで作製した．磁場を掃引して共振周波数を測定したところ、磁場により共振周波数が変化することを確認した．

要約(英語): In this research, we developed and evaluated a novel magnetic microsensor using a magnetostrictive material. This sensor detects a magnetic field from change of the resonance frequency caused by the load from magnetostriction. The resonance frequency shifted sweeping the magnetic field from 0mT to 20mT.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,389 Kバイト