熱輻射を制御する表面機能付き金属細線ヒータの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS18010

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2018/07/12

タイトル(英語): Patterning fine grating on thin metal wire/foil filament for controlling thermal radiation

著者名: 山田 雄大(豊田工業大学),佐々木 実(豊田工業大学)

著者名(英語): Yuta Yamada(Toyota Technical Institute),Minoru Sasaki(Toyota Technical Institute)

キーワード: ３Ｄリソグラフィ|微細格子|熱輻射制御|金属細線|赤外光源|表面プラズモン|3D lithography|Microgrid|Thermal radiation control|Metal thin wire|Infrared source|Surface plasmon

要約(日本語): フォトリソグラフィによる微細パターン形成は、Siウェハのように硬い平面基板を前提とする。立体サンプル上に応用できる技術を研究してきた。水溶性ポリマー膜上にレジストをスピンコートし、平面状態で微細パターンの潜像をレジスト膜に形成した後、立体サンプルに貼り付ける方法を見出した。白熱電球のフィラメントに相当する、通電加熱する金属線（および箔）に，熱輻射を制御する微細格子を形成したので報告する。

要約(英語): New method is found for patterning 3D samples using the water-soluble polymer. On that sheet, the resist is spin-coated, the pattern is transferred, and pasted on the sample. Here, on the thin metal wire or foil of the incandescent filament, the fine grating is fabricated for controlling the thermal radiation.

原稿種別: 日本語

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