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高出力を目指した電磁誘導式MEMSエアタービン発電機のタービンの形状及び磁気回路構造の検討

高出力を目指した電磁誘導式MEMSエアタービン発電機のタービンの形状及び磁気回路構造の検討

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カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS18014

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2018/07/12

タイトル(英語): Consideration of Shape of Turbine and Magnetic Circuit Structure of MEMS Air Turbine Generator Aiming for High Output

著者名: 海老澤 和紀(日本大学),工藤 和也(日本大学),金子 美泉(日本大学),田中 勝之(日本大学),内木場 文男(日本大学)

著者名(英語): Kazuki Ebisawa(Nihon University),Kazuya Kudou(Nihon University),Minami Kaneko(Nihon University),Katsuyuki Tanaka(Nihon University),Fumio Uchikoba(Nihon University)

キーワード: 発電機|MEMS|エアタービン|積層セラミック技術|磁気回路|磁性体|Generator|MEMS|Air Turbine|Multilayer ceramic technology|Magnetic circuit|Magnetic material

要約(日本語): 積層セラミック技術を用いて作製した磁気回路とMEMS工程を用いて作製したエアタービンを組み合わせた小型電磁誘導式発電機を提案する。本研究ではMEMS工程を用いて平面型とリム型のタービン翼を作製し、形状を検討した。また、積層セラミック技術を用いて単相型と三相型の磁気回路を作製し、MEMSエアタービンと組み合わせ小型発電機を得た。単相型は最大回転数290,135rpm、最大出力2.41mVAを得た。三相型は最大回転数228,484rpm、最大出力3.01mVAを得た。

要約(英語): This paper proposes a miniature electromagnetic induction generator. Two kinds of turbines were fabricated using the Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) process, and the shape was examined. Also, a magnetic circuit was fabricated using multilayer ceramic technology, and a miniature generator combined with the MEMS air turbine was fabricated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,848 Kバイト

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