Au錘MEMS慣性センサモジュールの評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS18015

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2018/07/12

タイトル(英語): Evaluation of MEMS Inertial Sensor Module with an Au Proof Mass

著者名: 古賀 達也(東京工業大学),高安 基大(東京工業大学),山根 大輔(東京工業大学),伊藤 浩之(東京工業大学),小西 敏文(NTT-AT),石原 昇(東京工業大学),町田 克之(東京工業大学),益 一哉(東京工業大学)

著者名(英語): Tatsuya Koga(Tokyo Tech),Motohiro Takayasu(Tokyo Tech),Daisuke Yamane(Tokyo Tech),Hiroyuki Ito(Tokyo Tech),Toshifumi Konishi(NTT-AT),Noboru Ishihara(Tokyo Tech),Katsuyuki Machida(Tokyo Tech),Kazuya Masu(Tokyo Tech)

キーワード: ＭＥＭＳ|慣性センサ|高感度|ブラウニアンノイズ|Ａｕ　錘|MEMS|inertial sensor|High sensitivity|Brownian noise|Au proof mass

要約(日本語): MEMS(Microelectromechanical systems)慣性センサはエアバックの衝撃検知等，身の回りの様々な用途で利用されている。この慣性センサが高分解能化することで新たな用途を実現できる。本研究グループでは，Au錘 MEMSデバイスを開発し，そのモジュール化に取り組んできた。今回，試作したMEMS慣性センサモジュールのノイズ特性を評価し，市販加速度センサと比較した。その結果，市販慣性センサに比べて低いノイズ特性を確認したので報告する。

要約(英語): MEMS inertial sensors are widely used for various applications, and can realize new applications by achieving high resolution. We evaluate the noise characteristics of a MEMS inertial sensor fabricated by multi-layer metal technology. As a result, the inertial sensor shows better noise characteristics than those of commercial products.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,314 Kバイト